产品展示 
DM3 XL
在微电子和半导体行业中,检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快,您做出响应的速度也就越快。

视场宽敞 30%

DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷,提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜,视场宽敞 30%。
  • 产品简介
  • 光学“高手”
  • 不同样品
  • 工作舒适直观
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件,DM3 XL 提供独特的宏观物镜。

利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。

1. 采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑:以简单有效的方式从不同角度照亮样品,从而实现各种形貌的可视化。

2. 借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择:

1. 载物台尺寸:150 mm x 150 mm

2. 载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座

3. 快速的粗略或精准载物台定位
彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化,有助于提升您的工作速度,并最大程度减少操作失误。

直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付最佳结果。

1. 得益于可轻松操作的控件,用户可在切换对比度或照明时,双手继续操作显微镜,双眼专注于样品之上。

2. 右手可轻松操控光强控制器

3. 使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮,根据不同身高调整显微镜